Efetores finais de cerâmica de alumina para manuseio de wafer semicondutor

Detalhes do produto

Os efetores finais de manuseio de wafers são instalados em robôs de manuseio de wafers e são responsáveis ​​pelo transporte de wafers de silício para posições designadas. A superfície do efetor final entra em contato direto com os wafers. Portanto, o efetor final deve ter dimensões precisas e estabilidade térmica, bem como uma superfície lisa e resistente à abrasão para garantir que não ocorra contaminação por partículas durante o manuseio do wafer.

Devido às propriedades da cerâmica de alumina, como resistência a altas temperaturas, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e baixo coeficiente de atrito, com temperatura operacional máxima de até 1750% ° C, elas apresentam excelente estabilidade térmica e mecânica, elétrica e superior. propriedades térmicas. Essas características os tornam altamente adequados para componentes de alta qualidade e garantem que os requisitos de desempenho dos efetores finais de manuseio de wafer sejam atendidos.

Os efetores finais de cerâmica da Mascera são feitos de pó de alumina de alta pureza por meio de prensagem isostática, sinterização em alta temperatura e usinagem de precisão, oferecendo excelente acabamento superficial e precisão dimensional para atender às necessidades de personalização dos usuários.

características do produto

• Alta dureza e resistência ao desgaste

• Excelente resistência à corrosão

• Boas propriedades de isolamento mesmo em altas temperaturas

• Excelente resistência ao calor

• Resistência mecânica superior

Folha de dados de materiais

Embalagem e Envio