Placas de bandeja de cerâmica de carboneto de silício SIC para gravação ICP

Detalhes do produto

Os suportes de wafer utilizados nos processos de crescimento epitaxial são submetidos a altas temperaturas e rigorosa limpeza química. A Mascera oferece placas de cerâmica de carboneto de silício de alta pureza que proporcionam excepcional resistência ao calor, distribuição térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epi, além de robusta resistência química.

Cerâmica não óxido, a cerâmica de carboneto de silício (SiC) é um material superduro com dureza de Mohs de até 9,5. A cerâmica de carboneto de silício não só possui excelentes propriedades mecânicas à temperatura ambiente, como alta resistência à flexão, excelente resistência à oxidação, boa resistência à corrosão, alta resistência ao desgaste e baixo coeficiente de atrito, mas também excelentes propriedades mecânicas (resistência mecânica, resistência à fluência) em altas temperaturas, podendo ser mantida até 1600 °C, a melhor entre todos os materiais cerâmicos. A resistência à oxidação da cerâmica de carboneto de silício também é a melhor entre todas as cerâmicas não óxido.

A Mascera produziu cerâmicas de carboneto de silício em duas formas: carboneto de silício sinterizado (SSiC) e carboneto de silício ligado por reação (SiSiC). 

A cerâmica de carboneto de silício sinterizado é produzida utilizando pós brutos de alta pureza e nanograu, sinterizados a altas temperaturas, variando de 2100°C a 2200°C. Esse processo de sinterização leva à densificação do corpo verde e a uma contração de aproximadamente 20%. Por outro lado, o carboneto de silício ligado por reação utiliza pó de carboneto de silício de tamanho micrométrico e é sinterizado a uma faixa de temperatura de 1450°C a 1700°C. Ao contrário do carboneto de silício sinterizado, o carboneto de silício ligado por reação não sofre contração de forma durante o processo de sinterização.

A temperatura de sinterização mais alta do carboneto de silício sinterizado resulta em características de desempenho aprimoradas, incluindo maior densidade, maior resistência mecânica e maior resistência à oxidação e corrosão. Para aplicações que não exigem tais propriedades de alto desempenho, o carboneto de silício ligado por reação é uma opção mais econômica.

Principais propriedades da cerâmica de carboneto de silício

• Alta resistência em alta temperatura

• Resistência à oxidação em alta temperatura

• Excelente resistência ao desgaste

• Baixo coeficiente de expansão térmica

• Alta condutividade térmica

• Excelente resistência ao choque térmico

• Alta dureza

• Leve devido à baixa densidade
  

• Boa resistência à corrosão

Aplicações típicas de cerâmicas de carboneto de silício

• Anéis de vedação mecânica

• Esferas, assentos, camisas para válvulas

• Móveis de forno

• Trocadores de calor

• Componentes fixos e móveis da turbina

• Mídia de moagem

• Componentes para queimadores

• Rolamentos de cerâmica

Ficha de Dados de Materiais

Formatos disponíveis de cerâmica de carboneto de silício

1. Haste de cerâmica / pino de cerâmica / êmbolo de cerâmica

2. Tubo de cerâmica / bucha de cerâmica / luva de cerâmica

3. Anel de cerâmica / arruela de cerâmica / espaçador de cerâmica 

4. Disco de cerâmica

5. Placa de cerâmica / bloco de cerâmica

6. Bola de cerâmica

7. Pistão de cerâmica

8. Cadinho de cerâmica

9. Outras peças de cerâmica personalizadas

Embalagem e Envio