Cerâmica de carboneto de silício: componentes de precisão essenciais para processos de semicondutores (parte 1)
O carboneto de silício (SiC), como material cerâmico estrutural de alto desempenho, possui características como alta densidade, alta condutividade térmica, alta resistência à flexão, grande módulo de elasticidade, forte resistência à corrosão e resistência a altas temperaturas. É menos sujeito a deformação devido à tensão de flexão ou tensão térmica, tornando-o adequado para ambientes corrosivos e de temperatura ultra-alta encontrados em processos de semicondutores, como epitaxia de wafer, gravação e muito mais. Consequentemente, encontrou aplicações generalizadas em processos como retificação e polimento, tratamentos térmicos como epitaxia/oxidação/difusão, litografia, deposição, gravação e implantação de íons na fabricação de semicondutores.
Processo de moagem
• Grãos de rebolo de carboneto de silício
Rebolo SiC para moagem de wafer Depois de cortar lingotes em wafers, geralmente ocorrem arestas vivas, rebarbas, rachaduras ou outros defeitos. Para evitar os efeitos adversos na resistência do wafer, no acabamento superficial e na contaminação por partículas em processos subsequentes, os wafers precisam ser retificados para reduzir a espessura, melhorar o nivelamento da superfície do wafer e eliminar danos superficiais causados pelo corte do fio. Atualmente, o método mais comum é a retificação bilateral usando rebolos, com esforços para melhorar a qualidade da retificação, otimizando parâmetros de retificação, como material do rebolo, pressão de retificação e velocidade de rotação.
O princípio da retificação dupla face
Tradicionalmente, os rebolos eram predominantemente feitos de ferro fundido ou aço carbono, caracterizados por uma vida útil curta e coeficientes de expansão térmica significativos. No entanto, com o desenvolvimento de materiais cerâmicos de SiC resistentes ao desgaste e processos de sinterização, os rebolos de SiC substituíram gradualmente os de ferro fundido e aço carbono devido à sua alta dureza, baixo desgaste e coeficientes de expansão térmica semelhantes aos das pastilhas de silício, oferecendo vantagens significativas, especialmente em processos de retificação e polimento de alta velocidade.
Rebolo de carboneto de silício
Tratamento Térmico e Outros Processos
• Acessórios e componentes de carboneto de silício dentro das câmaras de reação
Acessórios e componentes de SiC em câmaras de reação A fabricação de wafer envolve vários processos térmicos, como oxidação, difusão, recozimento e liga, que requerem produtos cerâmicos de SiC para transporte de wafer entre processos e componentes dentro de equipamentos de processamento térmico.
Braços de Cerâmica
Na produção de wafers semicondutores, é necessário tratamento térmico em alta temperatura, geralmente usando braços mecânicos para transportar, manusear e posicionar wafers semicondutores. Esses braços precisam possuir alta resistência mecânica, resistência à corrosão, resistência a altas temperaturas, resistência ao desgaste, alta dureza e isolamento, pois operam em ambientes limpos, de alta velocidade e muitas vezes corrosivos, como vácuo, altas temperaturas e gases reativos. . Comparados à alumina, os braços cerâmicos de SiC atendem melhor a esses requisitos, mas seu alto custo e dificuldades de processamento limitaram um pouco suas aplicações.
Componentes em Câmaras de Reação
Os equipamentos semicondutores para processamento térmico incluem fornos de oxidação (horizontais e verticais) e equipamentos de processamento térmico rápido (RTP). Devido às altas temperaturas de operação, os componentes dentro das câmaras de reação exigem alto desempenho. Componentes de SiC sinterizados de alta pureza, incluindo barcos verticais, pedestais, tubos de revestimento, tubos internos e placas defletoras, são indispensáveis para equipamentos de processamento térmico de circuitos integrados.
Componentes dentro das câmaras de reação
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XIAMEN MASCERA TECNOLOGIA CO., LTD. é um fornecedor respeitável e confiável, especializado na fabricação e venda de peças técnicas de cerâmica. Fornecemos produção personalizada e usinagem de alta precisão para uma ampla série de materiais cerâmicos de alto desempenho, incluindo cerâmica de alumina, cerâmica de zircônia, nitreto de silício, carboneto de silício, nitreto de boro, nitreto de alumínio e vitrocerâmica usinável. Atualmente, nossas peças cerâmicas podem ser encontradas em muitas indústrias como mecânica, química, médica, semicondutora, automotiva, eletrônica, metalurgia, etc. Nossa missão é fornecer peças cerâmicas da melhor qualidade para usuários globais e é um grande prazer ver nossa cerâmica as peças funcionam de forma eficiente nas aplicações específicas dos clientes. Podemos cooperar tanto em protótipos quanto em produção em massa. Entre em contato conosco se tiver demandas.
