Placas cerâmicas de bandeja de carboneto de silício sic para gravação Icp

Detalhes do produto

Os transportadores de wafer utilizados nos processos de crescimento epitaxial são submetidos a altas temperaturas e rigorosa limpeza química. A Mascera oferece placas de cerâmica de carboneto de silício de alta pureza que fornecem resistência ao calor excepcional, distribuição térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epi e resistência química robusta.

Cerâmica não óxido, cerâmica de carboneto de silício (SiC) é um material superduro que possui dureza moh de até 9,5. A cerâmica de carboneto de silício não só possui excelentes propriedades mecânicas à temperatura ambiente, como alta resistência à flexão, excelente resistência à oxidação, boa resistência à corrosão, alta resistência ao desgaste e baixo coeficiente de atrito, mas também excelentes propriedades mecânicas (resistência, resistência à fluência) em alta temperatura, a resistência a altas temperaturas pode ser mantida até 1600°C, que é a melhor entre todos os materiais cerâmicos. A resistência à oxidação da cerâmica de carboneto de silício também é a melhor entre todas as cerâmicas não oxidadas.

A Mascera produziu cerâmica de carboneto de silício em duas formas, carboneto de silício sinterizado (SSiC) e carboneto de silício ligado por reação (SiSiC). 

A cerâmica sinterizada de carboneto de silício é produzida utilizando pós brutos de alta pureza e nano-qualidade, que são sinterizados em alta temperatura variando de 2100 ℃ a 2200 ℃. Este processo de sinterização leva à densificação do corpo verde e à contração de aproximadamente 20%. Por outro lado, o carboneto de silício ligado por reação utiliza pó de carboneto de silício do tamanho de um mícron e é sinterizado em uma faixa de temperatura de 1450°C a 1700°C. Ao contrário do carboneto de silício sinterizado, o carboneto de silício ligado por reação não sofre encolhimento de forma durante o processo de sinterização.

A temperatura de sinterização mais alta do carboneto de silício sinterizado resulta em características de desempenho aprimoradas, incluindo maior densidade, maior resistência e maior resistência à oxidação e corrosão. Para aplicações que não exigem tais propriedades de alto desempenho, o carboneto de silício ligado por reação é uma escolha mais econômica

Principais propriedades da cerâmica de carboneto de silício

• Alta resistência em alta temperatura

• Resistência à oxidação em alta temperatura

• Excelente resistência ao desgaste

• Baixo coeficiente de expansão térmica

• Alta condutividade térmica

• Excelente resistência ao choque térmico

• Alta dureza

• Peso leve devido à baixa densidade
  

• Boa resistência à corrosão

Aplicações típicas de cerâmica de carboneto de silício

• Anéis de vedação mecânica

• Esferas, sedes, camisas para válvula

• Móveis de forno

• Trocadores de calor

• Componentes fixos e móveis da turbina

• Meio de moagem

• Placas militares à prova de balas

• Componentes para queimadores

• Rolamentos cerâmicos

Folha de dados de materiais

Formas disponíveis de cerâmica de carboneto de silício

1. Haste de cerâmica/pino de cerâmica/êmbolo de cerâmica

2. Tubo cerâmico/bucha cerâmica/luva cerâmica

3. Anel cerâmico/arruela cerâmica/espaçador cerâmico 

4. Disco cerâmico

5. Placa cerâmica / bloco cerâmico

6. Bola de cerâmica

7. Pistão cerâmico

8. Bocal cerâmico

9. Cadinho de cerâmica
   

10. Outras peças cerâmicas personalizadas

Embalagem e Envio