Placas de bandeja de cerâmica de carboneto de silício Sic para gravação ICP

Detalhes do produto

Os portadores de wafer utilizados nos processos de crescimento epitaxial são submetidos a altas temperaturas e rigorosa limpeza química. A Mascera oferece placas de bandeja de cerâmica de carboneto de silício de alta pureza que fornecem excepcional resistência ao calor, distribuição térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epi e resistência química robusta.

Cerâmica não óxido, cerâmica de carboneto de silício (SiC) é um material superduro que tem dureza moh de até 9,5. A cerâmica de carboneto de silício não só possui excelentes propriedades mecânicas à temperatura ambiente, como alta resistência à flexão, excelente resistência à oxidação, boa resistência à corrosão, alta resistência ao desgaste e baixo coeficiente de atrito, mas também excelentes propriedades mecânicas (resistência, resistência à fluência) em alta temperatura, a resistência a altas temperaturas pode ser mantida até 1600°C, que é a melhor entre todos os materiais cerâmicos. A resistência à oxidação da cerâmica de carboneto de silício também é a melhor entre todas as cerâmicas não óxido.

A Mascera produziu cerâmica de carboneto de silício em duas formas, carboneto de silício sinterizado (SSiC) e carboneto de silício ligado por reação (SiSiC). 

A cerâmica de carboneto de silício sinterizado é produzida utilizando pós brutos de alta pureza e nanograu, que são sinterizados a uma alta temperatura variando de 2100℃ a 2200℃. Este processo de sinterização leva à densificação do corpo verde e aproximadamente 20% de encolhimento. Por outro lado, carboneto de silício ligado por reação utiliza pó de carboneto de silício de tamanho mícron e é sinterizado em uma faixa de temperatura de 1450℃ a 1700℃. Ao contrário do carboneto de silício sinterizado, o carboneto de silício ligado por reação não sofre encolhimento durante o processo de sinterização.

A temperatura de sinterização mais alta do carboneto de silício sinterizado resulta em melhores características de desempenho, incluindo maior densidade, maior resistência e maior resistência à oxidação e à corrosão. Para aplicações que não requerem tais propriedades de alto desempenho, o carboneto de silício ligado por reação é uma escolha mais econômica

Principais propriedades da cerâmica de carboneto de silício

• Alta resistência em alta temperatura

• Resistência à oxidação em alta temperatura

• Excelente resistência ao desgaste

• Baixo coeficiente de expansão térmica

• Alta condutividade térmica

• Excelente resistência ao choque térmico

• alta dureza

• Peso leve devido à baixa densidade
  

• Boa resistência à corrosão

Aplicações típicas da cerâmica de carboneto de silício

• Anéis de vedação mecânicos

• Esferas, assentos, camisas para válvula

• móveis de forno

• Trocadores de calor

• Componentes fixos e móveis da turbina

• mídia de moagem

• Placas militares à prova de balas

• Componentes para queimadores

• Rolamentos de cerâmica

Ficha de Dados do Material

Formas disponíveis de cerâmica de carboneto de silício

1. Haste de cerâmica/pino de cerâmica/êmbolo de cerâmica

2. Tubo de cerâmica/bucha de cerâmica/luva de cerâmica

3. Anel de cerâmica / arruela de cerâmica / espaçador de cerâmica 

4. disco de cerâmica

5. Placa de cerâmica / bloco de cerâmica

6. bola de cerâmica

7. Pistão de cerâmica

8. bico de cerâmica

9. cadinho de cerâmica
   

10. Outras peças de cerâmica personalizadas

Embalagem e expedição